Epi Graphite باريل سوسيفور
Epi Graphite Barrel Susceptor Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor is a specially designed support and heating tool used to hold and heat semiconductor substrates during manufacturing processes like Deposition or Epitaxy processes.
ويشتمل هيكله عادة على الأسطوانية أو على شكل طفيف من البراميل، وعلى خصائص سطحية متعددة من جيوب أو منابر لوضع المواسير، ويمكن أن يكون تصميما صلبا أو مجوفا، حسب طريقة التدفئة.
المهام الرئيسية لحامض البراميل الوبائية:
- الدعم من الباطن: يُحتفظ بشكل مأمون بموجات متعددة شبه موصلات؛;
- مصدر الحرارة: يوفر درجات حرارة عالية مطلوبة للنمو عن طريق التدفئة؛;
- التوحيد التناسبي: يكفل التدفئة الموحدة للمقاطعات الفرعية؛;
- التناوب: عادة ما يتناوب خلال النمو لتحسين درجة الحرارة والتماثل في توزيع الغاز.
مبدأ العمل الخاص بـ (إيبي)
- وفي المفاعل الوبائي، يسخن مُستشف البراميل إلى درجة الحرارة المطلوبة (نحو 1000 درجة مئوية - 1200 درجة مئوية لتصليح السيليكون)؛;
- تدور السائلة بالبرميل لضمان توزيع درجات الحرارة وتدفق الغاز؛;
- تفكك الغازات الرجعية عند درجات الحرارة المرتفعة، مما يشكل طبقات ضوئية على السطح السفلي.
الطلبات:
- مستعملة بشكل رئيسي لنمو السليكون الوبائي
- ينطبق أيضاً على الضريبة من مواد أخرى شبه موصلية مثل غاس، إن بي، إلخ.
VET (ب) استخدام الطاقة للغرافيت العالية النقاء مع طلاء CVD-SiC لتعزيز الاستقرار الكيميائي:
The advantages of VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- استقرار درجة الحرارة العالية؛;
- التوحيد الحراري الجيد؛;
- القيام في نفس الوقت بتجهيزات فرعية متعددة، وتحسين كفاءة الإنتاج؛;
- غير لائق، الحفاظ على بيئة نمو عالية النقاء.
Ningbo VET Energy Technology Co., وشركة المحدودة هي شركة ذات تكنولوجيا عالية تركز على إنتاج وبيع المواد المتقدمة العالية، والمواد والتكنولوجيا، بما في ذلك الرسوم البيانية، وكاربيد السيليكون، والسرامات، والعلاج السطحي مثل معطف سيك، وتركيب تا سي، وتركيب الكربون الزجاجي، وتغليف الكربون بالبيروليك، وما إلى ذلك، تُستخدم هذه المنتجات على نطاق واسع في الطفيليات الضوئية، وشبه الموصلات، والطاقة الجديدة، والميتارج.
ويأتي فريقنا التقني من مؤسسات البحوث المحلية العليا، وقد استحدث تكنولوجيات متعددة براءات الاختراع لضمان أداء المنتجات وجودتها، ويمكنه أيضا أن يوفر للزبائن حلولا مادية مهنية.
ونحن نرحب بكم ترحيبا حارا لزيارة مختبرنا ونباتنا للمناقشة والتعاون التقنيين!
With R ' D capabilities from key materials to end application products, the core and key technologies of independent intellectual property rights have achieved a number of scientific and technological innovations.