11/12/2024

Was ist ein Vertikal Wafer Boot und wie funktioniert es

Ein vertikales Waferboot dient als kritisches Werkzeug in der Halbleiterfertigung, das dazu ausgelegt ist, Wafer bei Hochtemperaturprozessen in vertikalen Öfen sicher zu halten. Seine vertikale Stapelfähigkeit gewährleistet eine optimale Raumausnutzung und eine präzise Temperaturregelung, insbesondere für Siliziumwafer mit großem Durchmesser. Durch die Einbindung von Merkmalen wie ausgerichtete Einkerbungen und flache Ausnehmungen verhindert sie eine Fehlausrichtung und Bruch des Wafers. Darüber hinaus minimiert der Aufbau aus hochreinen Materialien, wie Quarz oder Siliziumkarbid, Verunreinigungsrisiken und sorgt für die Herstellung von Hochleistungshalbleiterprodukten.

Wichtigste Erkenntnisse

Vertikale Waferboote sind wesentliche Werkzeuge in der Halbleiterfertigung, die darauf ausgelegt sind, Wafer bei Hochtemperaturprozessen sicher zu halten und eine optimale Leistung zu gewährleisten.
Ihr vertikales Design maximiert die Raumausnutzung und fördert eine gleichmäßige Wärmeverteilung, die für die Verarbeitung von Siliziumwafern mit großem Durchmesser ohne Defekt entscheidend ist.
Konstruiert aus hochwertigen Materialien wie Siliziumkarbid und Quarz, minimieren diese Boote Verunreinigungsrisiken und halten die für hochwertige Halbleiterprodukte erforderliche Sauberkeit.
Die Integration vertikaler Waferboote mit Lastschlosssystemen erhöht die Betriebseffizienz durch das Reinigen von Wafer mit Stickstoff und reduziert das native Oxidwachstum vor der Verarbeitung.
Anpassungsmöglichkeiten für vertikale Wafer Boote ermöglichen es ihnen, verschiedene Wafergrößen und Anwendungen zu unterbringen, so dass sie vielseitige Werkzeuge in der Halbleiter- und fortschrittlichen Materialindustrie.
Durch die Reduzierung der Partikelerzeugung und eine präzise Waferausrichtung verbessern vertikale Waferboote die Ausbeute und Zuverlässigkeit von Mikrochips und LEDs deutlich.
Ihre Haltbarkeit und die Fähigkeit, extremen Temperaturen standzuhalten, sorgen für gleichbleibende Leistung und machen vertikale Wafer Boote unverzichtbar in modernen Fertigungsprozessen.

Vertical Wafer Boote verstehen

Was ist ein Vertikal Wafer Boot?

Definition und Zweck in der Halbleiterfertigung.

A Vertikal Wafer Boot ist ein spezialisiertes Werkzeug, um Halbleiterscheiben während Hochtemperaturprozessen sicher zu halten. Es spielt eine wichtige Rolle in vertikalen Ofensystemen, wo Wafer vertikal gestapelt werden, um Platz zu optimieren und eine gleichmäßige Wärmeverteilung zu gewährleisten. Diese Konstruktion ist besonders effektiv für die Verarbeitung von Siliziumwafern mit großem Durchmesser, wie etwa 300 mm, die eine präzise Temperaturregelung zur Aufrechterhaltung ihrer strukturellen Integrität und Leistung erfordern. Durch die Unterstützung von Wafern in vertikaler Ausrichtung minimiert das Boot das Risiko von Fehlausrichtung und Bruch, wodurch konsistente Ergebnisse in der Halbleiterfertigung gewährleistet werden.

Der Hauptzweck eines vertikalen Waferboots ist es, die effiziente Waferhandhabung zu erleichtern und gleichzeitig die in der Halbleiterindustrie geforderten Sauberkeitsstandards einzuhalten. Konstruiert aus hochreinen Materialien wie Quarz oder Siliziumkarbid, verhindert es Verunreinigungen während der Verarbeitung. Diese Materialien widerstehen extremen Temperaturen und widerstehen chemischen Reaktionen, so dass sie ideal für den Einsatz in anspruchsvollen thermischen Prozessen wie Diffusion, Oxidation und Glühung.

Schlüsselunterschiede von anderen Wafer-Handling-Werkzeugen.

Vertikale Wafer-Boote unterscheiden sich deutlich von anderen Wafer-Handling-Werkzeugen, wie horizontalen Wafer-Booten. Der vertikale Aufbau ermöglicht eine bessere Raumausnutzung innerhalb von Ofenkammern, die mehr Wafer in einem einzigen Ansatz aufnehmen. Diese Konfiguration erhöht auch die Temperaturgleichmäßigkeit, da Wärme gleichmäßig über die vertikal gestapelten Wafer verteilt wird. Im Gegensatz dazu stehen horizontale Waferboote oft vor Herausforderungen mit ungleichmäßiger Erwärmung, insbesondere für größere Wafer.

Eine weitere Schlüsseldifferenz liegt in der Kontaminationskontrolle. Vertikale Waferboote erzeugen im Betrieb aufgrund ihrer stabilen Struktur und präzisen Ausrichtungsmerkmale weniger Partikel. Dieser Vorteil ist bei der Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung, bei der auch kleinere Verunreinigungen die Produktqualität beeinträchtigen können. Darüber hinaus integrieren vertikale Waferboote nahtlos in Lastschlosssysteme, wodurch die Stickstoffspülung das native Oxidwachstum auf Siliziumoberflächen vor der Verarbeitung reduziert.

Wie funktioniert ein Vertikal Wafer Boat?

Erläuterung seiner vertikalen Gestaltung und Funktionalität.

Die vertikale Gestaltung eines Waferboots dient mehreren Zwecken. Es unterstützt Wafer in einer aufrechten Position, um sicherzustellen, dass jeder Wafer während des gesamten thermischen Prozesses sicher ausgerichtet bleibt. Ausgeglichene Kerben und flache Ausnehmungen innerhalb des Bootes halten die Wafer fest, verhindern Bewegung oder Beschädigung beim Be- und Entladen. Dieses Design maximiert auch die Anzahl der Wafer, die gleichzeitig verarbeitet werden können, und verbessert die Gesamteffizienz.

Im Betrieb wird das vertikale Waferboot in ein vertikales Ofenrohr eingesetzt. Der Ofen erwärmt die Wafer auf präzise Temperaturen und ermöglicht Prozesse wie Oxidation oder Diffusion. Die vertikale Ausrichtung sorgt dafür, dass Wärme gleichmäßig über alle Wafer fließt, wodurch das Risiko von thermischen Gradienten reduziert wird, die zu Defekten führen könnten. Diese Gleichmäßigkeit ist wesentlich für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente.

Rolle in der thermischen Verarbeitung und Kontaminationskontrolle.

Während der thermischen Verarbeitung wirkt das vertikale Waferboot als kritischer Zwischenspeicher zwischen der Ofenumgebung und den Wafern. Seine hochreinen Baustoffe, wie Siliciumcarbid und Quarz, widerstehen chemischen Reaktionen und widerstehen Temperaturen über 1700°C. Diese Eigenschaften verhindern Verschmutzungen, um sicherzustellen, dass die Wafer frei von Verunreinigungen bleiben, die ihre Leistung beeinträchtigen könnten.

Das Design des Bootes minimiert auch die Partikelerzeugung, ein gemeinsames Problem im Waferhandling. Durch die Reduzierung der Bewegung von Wafern und die Aufrechterhaltung einer stabilen Struktur, hilft es, die Sauberkeit, die in der Halbleiterfertigung erforderlich ist. Darüber hinaus ermöglicht die Integration von Lastschlosssystemen mit vertikalen Waferbooten eine Stickstoffspülung, die die Bildung von nativen Oxiden auf Siliziumoberflächen begrenzt. Diese Funktion verbessert die Qualität und Zuverlässigkeit der verarbeiteten Wafer.

Schlüsselmerkmale von Vertikal Wafer Booten

Materialzusammensetzung

Hochreine Materialien wie Siliziumkarbid und Quarz.

Vertikale Waferboote verlassen sich auf hochreine Materialien wie Siliziumkarbid (SiC) und Quarz, um den hohen Anforderungen der Halbleiterfertigung gerecht zu werden. Diese Materialien weisen eine außergewöhnliche Beständigkeit gegen chemische Korrosion auf, wodurch sichergestellt wird, dass Wafer während Hochtemperaturverfahren nicht kontaminiert bleiben. Insbesondere Siliziumkarbid bietet überlegene Wärmeleitfähigkeit und mechanische Festigkeit, so dass es ideal für Umgebungen, in denen die Stabilität kritisch ist. Quarz, bekannt für seine Reinheit und Transparenz, minimiert das Risiko von Verunreinigungen, die die Waferqualität beeinflussen. Diese Materialien ermöglichen zusammen vertikale Waferboote, um die bei fortschrittlichen Fertigungsprozessen erforderliche Sauberkeit und Präzision zu erhalten.

Bedeutung der Hitzebeständigkeit und Haltbarkeit.

Die Fähigkeit, extremen Temperaturen standzuhalten, ist eine charakteristische Eigenschaft von vertikalen Wafer Booten. Werkstoffe wie Siliciumcarbid können Temperaturen über 1700°C ertragen, ohne dass sie abbauen und eine gleichbleibende Leistung bei längeren thermischen Zyklen gewährleisten. Diese Wärmebeständigkeit verhindert eine strukturelle Verformung, die die Waferausrichtung und die Verarbeitungsgenauigkeit beeinträchtigen könnte. Auch die Langlebigkeit spielt eine entscheidende Rolle, da vertikale Waferboote den wiederholten Einsatz unter anspruchsvollen Bedingungen ertragen müssen. Ihre robuste Konstruktion reduziert die Verschleißwahrscheinlichkeit, verlängert ihre Betriebslebensdauer und hält Zuverlässigkeit in hochpräzisen Industrien aufrecht.

Struktur

Vorteile der vertikalen Orientierung für Waferhandling.

Die vertikale Ausrichtung dieser Waferboote bietet gegenüber horizontalen Konfigurationen mehrere Vorteile. Durch die vertikale Stapelung von Wafern optimiert das Design den Raum innerhalb von Ofenkammern, so dass Hersteller mehr Wafer in einem einzigen Stapel verarbeiten können. Diese Anordnung fördert auch eine gleichmäßige Wärmeverteilung, wodurch die Gefahr von thermischen Gradienten reduziert wird, die zu Defekten führen könnten. Die vertikale Struktur sorgt dafür, dass Wafer sicher ausgerichtet bleiben, die Bewegung minimieren und Beschädigungen während der Verarbeitung verhindern. Diese Vorteile machen vertikale Wafer Boote unverzichtbar, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in der Halbleiterfertigung zu erzielen.

Anpassung für verschiedene Wafergrößen und Anwendungen.

Vertikale Wafer Boote können auf verschiedene Wafergrößen und spezielle Anwendungen zugeschnitten werden. Hersteller passen die Boote oft an, um Wafer von kleineren Durchmessern bis zu großen 300 mm Wafer zu unterstützen. Diese Flexibilität gewährleistet die Kompatibilität mit unterschiedlichen Produktionsanforderungen, einschließlich Verfahren wie Diffusion, Oxidation und Glühung. Einige fortschrittliche Designs erlauben sogar mehrere Stapel kleinerer Wafer, erhöhen den Durchsatz, ohne die Qualität zu beeinträchtigen. Die Individualisierung verbessert die Vielseitigkeit von vertikalen Waferbooten und ermöglicht es ihnen, den wachsenden Anforderungen der hochpräzisen Industrien gerecht zu werden.

Betriebseffizienz

Optimierung der Waferbearbeitung und der Lastschlossintegration.

Vertikale Waferboote tragen wesentlich zur Effizienz von Waferbearbeitungssystemen bei. Ihr Design integriert sich nahtlos mit Lastschlossmechanismen, die eine entscheidende Rolle bei der Aufrechterhaltung einer kontrollierten Umgebung während der Waferübertragung spielen. Load lockt Spülwafer mit Stickstoff vor der thermischen Verarbeitung und begrenzt das Wachstum von nativen Oxiden auf Siliziumoberflächen. Diese Integration verbessert nicht nur die Qualität der verarbeiteten Wafer, sondern optimiert auch den Betrieb durch die Reduzierung der Ausfallzeiten zwischen Chargen. Der optimierte Workflow erhöht die Gesamtproduktivität in Halbleiterfertigungsanlagen.

Verringerung der Partikelerzeugung und Verunreinigung.

Die Aufrechterhaltung der Sauberkeit ist bei der Halbleiterfertigung von größter Bedeutung, und vertikale Waferboote zeichnen sich dabei aus. Ihre stabile Struktur und präzise Ausrichtungsmerkmale minimieren die Partikelerzeugung im Betrieb. Durch die Reduzierung der Waferbewegung und die Sicherstellung einer sicheren Platzierung helfen diese Boote dabei, die für Hochleistungsgeräte erforderlichen Bedingungen aufrechtzuerhalten. Die Verwendung von hochreinen Materialien verhindert weiterhin eine Verunreinigung und schützt die Integrität der Wafer. Dieser Fokus auf Sauberkeit und Kontaminationskontrolle unterstreicht die kritische Rolle von vertikalen Wafer Booten bei der Herstellung zuverlässiger und effizienter Halbleiterprodukte.

Anwendungen von Vertikal Wafer Boote

Halbleiterherstellung

Verwendung in Prozessen wie Diffusion, Oxidation und Glühung.

Vertikale Waferboote spielen bei der Halbleiterherstellung eine entscheidende Rolle, indem sie Wafer während kritischer thermischer Prozesse wie Diffusion, Oxidation und Glühung unterstützen. Diese Prozesse erfordern eine präzise Temperaturregelung, um die elektrischen Eigenschaften von Silizium-Wafern zu modifizieren, was die Schaffung von Hochleistungs-Mikrochips ermöglicht. Die vertikale Konstruktion gewährleistet eine gleichmäßige Wärmeverteilung über alle Wafer, wodurch die Gefahr von Defekten durch thermische Gradienten reduziert wird. Diese Gleichmäßigkeit ist wesentlich, um konsequente Ergebnisse in der Großproduktion zu erzielen.

Die Verwendung von hochreinen Materialien, wie Siliziumkarbid und Quarz, erhöht die Fähigkeit des Bootes, extremen Temperaturen und chemischen Reaktionen während dieser Prozesse standzuhalten. Beispielsweise werden die Wafer während der Oxidation bei erhöhten Temperaturen Sauerstoff zu einer dünnen Oxidschicht, die als Isolator wirkt, ausgesetzt. Das vertikale Waferboot sorgt dafür, dass sich diese Schicht gleichmäßig über alle Wafer ausbildet und die Zuverlässigkeit des Endproduktes verbessert. Ebenso hält das Boot bei der Glühung die Waferausrichtung und die Stabilität aufrecht, wodurch Beschädigungen vermieden werden und gleichzeitig die strukturellen Eigenschaften des Materials verbessert werden.

Bedeutung bei der Herstellung hochwertiger Mikrochips und LEDs.

Für die Herstellung hochwertiger Mikrochips und LEDs sind die Präzision und Effizienz der vertikalen Waferboote entscheidend. Mikrochips, die moderne elektronische Geräte antreiben, erfordern eine einwandfreie Fertigung, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Vertikale Waferboote minimieren Verschmutzung und Partikelerzeugung, wobei die für Halbleiterwafer erforderliche Sauberkeit beibehalten wird. Diese Sauberkeit wirkt direkt auf die Ausbeute und Qualität von Mikrochips, reduziert die Produktionskosten und verbessert die Gerätesicherheit.

Bei der LED-Produktion sorgt die durch vertikale Waferschiffe ermöglichte gleichmäßige thermische Verarbeitung für gleichbleibende Lichtemission und Energieeffizienz. LEDs setzen auf präzise Materialeigenschaften, um ihre gewünschte Helligkeit und Farbe zu erreichen. Die Fähigkeit des Bootes, Wafer bei Hochtemperaturprozessen sicher zu unterstützen, verhindert Fehler, wodurch die LEDs strenge Industriestandards erfüllen. Durch die Erleichterung dieser fortschrittlichen Fertigungstechniken tragen vertikale Waferboote maßgeblich zur Entwicklung moderner Technologien bei.

Andere hochpräzise Industrien

Anwendungen in der Solar-Panel-Produktion und fortschrittliche Materialforschung.

Neben Halbleitern finden vertikale Waferboote Anwendungen in Industrien wie Solarpanelproduktion und fortschrittliche Materialforschung. Bei der Herstellung von Solarpaneel unterstützen die Boote Siliziumwafer bei Prozessen wie Diffusion, wo Dotierstoffe eingeführt werden, um die photovoltaischen Eigenschaften des Materials zu verbessern. Die vertikale Orientierung gewährleistet eine gleichmäßige Dotierung, die die Effizienz von Solarzellen bei der Umwandlung von Sonnenlicht in Strom verbessert. Diese Effizienz ist entscheidend für die steigende Nachfrage nach erneuerbaren Energielösungen.

In der fortgeschrittenen Materialforschung ermöglichen vertikale Waferboote präzise thermische Behandlungen, die für die Entwicklung innovativer Materialien erforderlich sind. Forscher nutzen diese Boote, um die Auswirkungen hoher Temperaturen auf Materialeigenschaften, wie Leitfähigkeit und Stärke zu untersuchen. Die Fähigkeit, das Design des Bootes für bestimmte Wafergrößen und Anwendungen anzupassen, macht es zu einem wertvollen Werkzeug in experimentellen Setups. Durch die Bereitstellung von Stabilität und Kontaminationskontrolle unterstützen vertikale Waferboote Durchbrüche in der Materialwissenschaft und -technologie.

Rolle bei der Verbesserung der Effizienz bei Hochtemperaturprozessen.

Vertikale Waferboote verbessern die Effizienz von Hochtemperaturprozessen durch Optimierung von Waferhandling und Wärmeverteilung. Ihr Design minimiert die Waferbewegung, wodurch das Risiko von Fehlausrichtung und Bruch bei der Verarbeitung reduziert wird. Eigenschaften wie Kerben und flache Ausnehmungen sorgen für eine sichere Wafer Platzierung, auch unter schwierigen Bedingungen. Diese Stabilität ermöglicht es den Herstellern, größere Waferstapel zu verarbeiten, ohne die Qualität zu beeinträchtigen, den Durchsatz zu erhöhen und die Betriebskosten zu senken.

Die Integration von Lastschlosssystemen mit vertikalen Waferbooten verbessert die Prozesseffizienz weiter. Die Ladung sperrt Spülwafer mit Stickstoff vor thermischen Behandlungen und begrenzt die Bildung von nativen Oxiden auf Siliziumoberflächen. Dieser Schritt verbessert die Qualität des Endproduktes während der Optimierung des Workflows. Durch die Bewältigung von Herausforderungen wie Verunreinigungen und thermischen Gradienten tragen vertikale Waferboote zur Weiterentwicklung hochpräziser Industrien bei, die die Produktion zuverlässiger und effizienter Technologien ermöglichen.

Vertikale Waferboote spielen eine zentrale Rolle bei der Entwicklung von Halbleiter- und Hochpräzisionsindustrien. Ihr innovatives Design sorgt für effizientes Waferhandling, präzise Temperaturregelung und reduzierte Verunreinigungen während kritischer Prozesse. Durch die Verwendung hochwertiger Materialien wie Quarz und Siliziumkarbid halten diese Werkzeuge die für die Herstellung hochwertiger Mikrochips, LEDs und Solarpaneele erforderliche Sauberkeit aufrecht. Die vertikale Orientierung optimiert den Raum und verbessert die thermische Gleichmäßigkeit und macht sie in der modernen Fertigung unverzichtbar. Mit der Langlebigkeit, der Betriebseffizienz und der Kontaminationskontrolle verbessern vertikale Waferboote die technologischen Prozesse deutlich und treiben Fortschritte in der Spitzenindustrie.

FAQ

Was sind vertikale Waferboote?

Vertikale Waferboote sind spezialisierte Werkzeuge, die Halbleiterwafer während Hochtemperaturprozessen in einem vertikalen Stack halten. Diese Boote werden in vertikale Ofenrohre eingesetzt, so dass sie ideal für großdimensionierte Siliziumwafer wie 300 mm sind. Ihre vertikale Ausrichtung bietet eine bessere Raumausnutzung und eine präzise Temperaturregelung im Vergleich zu horizontalen Konfigurationen.

Welche Vorteile bietet Vertical Column Wafer Boat & Pedestal?

Die Vertikalsäule Wafer Boat & Pedestal bietet eine genaue und stabile Unterstützung für Wafer in vertikaler Richtung. Durch diese Ausgestaltung wird verhindert, dass sich Wafer beim Hochtemperatur- oder Transportvorgang verschieben, gleiten oder nachhaltig beschädigen. Es gewährleistet die strukturelle Integrität der Wafer, die für die Erhaltung der Produktqualität entscheidend ist.

Wie unterscheiden sich herkömmliche vertikale Waferboote von fortschrittlichen Designs?

Üblicherweise halten herkömmliche vertikale Waferboote einen einzigen Stapel vertikal beabstandeter Wafer. Fortgeschrittene Designs können jedoch mehrere nebeneinander angeordnete Waferstapel aufnehmen. Diese Innovation erhöht den Waferdurchsatz deutlich und macht den Herstellungsprozess effizienter und kostengünstiger.

Was ist der Nachteil der vertikalen Furnacing für Wafer?

Bei herkömmlichen Vertikalöfen werden Wafer oft nur an ihren Außenkanten abgestützt. Dadurch entsteht eine höhere Belastung der Bereiche, was zu einem Waferschlupf führen kann. Solche Schlicker können die Halbleiterbauelemente beschädigen, ihre Funktionalität beeinträchtigen und die Produktionsausbeute reduzieren.

Warum sind vertikale Waferboote für großdurchmesserige Wafer bevorzugt?

Großdurchmesserwafer, wie etwa 300 mm, erfordern eine präzise Temperaturregelung und eine stabile Abstützung während der Verarbeitung. Vertikale Waferboote zeichnen sich in diesen Bereichen durch eine gleichmäßige Wärmeverteilung aus und minimieren das Risiko von Fehlausrichtung oder Bruch. Ihr Design optimiert die Handhabung größerer Wafer und macht sie in der modernen Halbleiterfertigung unverzichtbar.

Welche Materialien werden verwendet, um vertikale Waferboote zu bauen?

Vertikale Waferboote werden typischerweise aus hochreinen Materialien wie Siliziumkarbid und Quarz hergestellt. Diese Materialien widerstehen chemischen Reaktionen und widerstehen extremen Temperaturen, oft über 1700°C. Ihre Haltbarkeit und Reinheit sorgen dafür, dass Wafer während der Verarbeitung nicht kontaminiert bleiben.

Wie minimieren vertikale Waferboote die Verschmutzung?

Die Konstruktion von vertikalen Waferbooten reduziert die Partikelerzeugung durch sicheres Halten von Wafern und verhindert unnötige Bewegungen. Hochreine Materialien, wie Quarz und Siliziumkarbid, verhindern weiter Verunreinigungen. Zusätzlich ermöglicht die Integration mit Lastschlosssystemen eine Stickstoffspülung, die die Bildung von nativen Oxiden auf Siliziumoberflächen begrenzt.

Können vertikale Wafer Boote für spezielle Anwendungen angepasst werden?

Ja, vertikale Wafer Boote können auf verschiedene Wafergrößen und spezielle Fertigungsprozesse zugeschnitten werden. Anpassungsoptionen umfassen Unterstützung für kleinere Wafer oder mehrere Stacks, Verbesserung der Vielseitigkeit. Diese Anpassungsfähigkeit macht sie für vielfältige Anwendungen geeignet, von Diffusion und Oxidation bis hin zur fortgeschrittenen Materialforschung.

Welche Rolle spielen vertikale Waferboote im Halbleiterbau?

Vertikale Wafer Boote sind essentiell in Prozessen wie Diffusion, Oxidation und Glühung. Sie gewährleisten eine gleichmäßige Wärmeverteilung, halten die Waferausrichtung aufrecht und minimieren die Verschmutzung. Diese Eigenschaften sind entscheidend für die Herstellung hochwertiger Mikrochips, LEDs und anderer Halbleiter-Geräte.

Werden vertikale Waferboote außerhalb der Halbleiterindustrie verwendet?

Ja, vertikale Wafer Boote werden auch in Industrien wie Solarpanel Produktion und fortschrittliche Materialforschung verwendet. In der Solarfertigung unterstützen sie Wafer während der Dopingprozesse, um die Photovoltaikeffizienz zu steigern. In der Forschung ermöglichen sie präzise thermische Behandlungen zur Entwicklung innovativer Materialien und tragen zu technologischen Fortschritten bei.

Für weitere Produktdetails kontaktieren Sie bitte steven@china-vet.com Oder Website: www.vet-china.com .