Kurze Beschreibung:
ET Energie ist ein professioneller Hersteller, Lieferant und Exporteur für Epitaxie-Epitaxie-Graphit Barrel Susceptor. Wir haben ein starkes F&D-Team und eigene patentierte Technologien, um Kunden mit hoher Qualität und fortschrittlichen Materialien zu versorgen, wir begrüßen Sie, unsere Fabrik für weitere Diskussionen zu besuchen.
Epitaxie Epitaxie Barrel Suszeptor
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor ist eine speziell entwickelte Träger- und Heizvorrichtung, die zum Halten und Erhitzen von Halbleitersubstraten bei Fertigungsprozessen wie Deposition oder Epitaxie-Prozessen verwendet wird.
Seine Struktur umfasst typischerweise zylindrisch oder leicht tonnenförmig, Oberfläche verfügt über mehrere Taschen oder Plattformen zum Auflegen der Wafer, kann in Abhängigkeit von der Heizmethode fest oder hohl ausgeführt sein.
Die Hauptfunktionen des epitaxialen Fassanfängers:
-Substrate-Unterstützung: hält mehrere Halbleiterscheiben fest;
-Heatquelle: liefert hohe Temperaturen, die für das Wachstum durch Heizung erforderlich sind;
-Temperaturgleichmäßigkeit: gewährleistet eine gleichmäßige Erwärmung von Substraten;
-Rotation: dreht sich normalerweise während des Wachstums um die Gleichmäßigkeit der Temperatur- und Gasverteilung zu verbessern.
Arbeitsprinzip von Epi Graphit Fass Suszeptor:
– Im Epitaxiereaktor wird der Barrelseptor auf die erforderliche Temperatur erwärmt (typischerweise 1000°C-1200°C für Siliziumepitaxie);
-Der Fassanfänger dreht sich um eine gleichmäßige Temperaturverteilung und Gasstrom zu gewährleisten;
- Reaktionsgase zerfallen bei hohen Temperaturen und bilden epitaktische Schichten auf der Substratoberfläche.
Anwendungen:
-Primär verwendet für Silizium epitaktisches Wachstum
- Auch für die Epitaxie anderer Halbleitermaterialien wie GaAs, InP usw.
ET Energie verwenden hochreinen Graphit mit CVD-SiC-Beschichtung, um die chemische Stabilität zu verbessern:
Die Vorteile von VET Energy Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor:
- Hohe Temperaturstabilität;
- Gute thermische Gleichmäßigkeit;
-Kann mehrere Substrate gleichzeitig verarbeiten, die Produktionseffizienz verbessern;
-Khemisch inert, Aufrechterhaltung einer hochreinen Wachstumsumgebung.
Ningbo VET Energietechnik Co., Ltd ist ein High-Tech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb von High-End- fortschrittlichen Materialien, die Materialien und Technologie einschließlich Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung wie SiC-Beschichtung, TaC-Beschichtung, glasige Kohlenstoff-Beschichtung, pyrolytische Kohlenstoff-Beschichtung, etc. konzentriert, sind diese Produkte weit verbreitet in der Photovoltaik, Halbleiter, neue Energie, Metallurgie, etc..
Unser technisches Team kommt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und hat mehrere patentierte Technologien entwickelt, um Produktleistung und Qualität zu gewährleisten, können Kunden auch professionelle Materiallösungen bieten.
Wir heißen Sie herzlich willkommen, unser Labor und unsere Anlage für technische Diskussionen und Kooperationen zu besuchen!
Mit Forschungs- und Entwicklungskapazitäten von Schlüsselmaterialien bis hin zu Endprodukten haben die Kern- und Schlüsseltechnologien unabhängiger geistiger Eigentumsrechte eine Reihe von wissenschaftlichen und technologischen Innovationen hervorgebracht.
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