Langlebige Siliziumkarbid-Waffelkassette mit SiC-Beschichtung

Kurze Beschreibung:

VET Energy Silicon Carbide Wafer Cassette With SiC Coating is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.

Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid

Rekristallisiertes Siliciumcarbid (R-SiC) ist ein Hochleistungsmaterial, das in seiner Härte nur von Diamant übertroffen wird und bei einer hohen Temperatur von über 2000 °C entsteht. Es behält viele hervorragende Eigenschaften von SiC bei, z. B. hohe Temperaturbeständigkeit, starke Korrosionsbeständigkeit, hervorragende Oxidationsbeständigkeit, gute Temperaturwechselbeständigkeit usw.

● Ausgezeichnete mechanische Eigenschaften. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine höhere Festigkeit und Steifigkeit als Kohlefaser, eine hohe Schlagzähigkeit, kann eine gute Leistung in extremen Temperaturumgebungen spielen, kann eine bessere Ausgleichsleistung in einer Vielzahl von Situationen spielen. Darüber hinaus hat es auch eine gute Flexibilität und wird nicht leicht durch Dehnung und Biegung beschädigt, was seine Leistung erheblich verbessert.

● Hohe Korrosionsbeständigkeit. Rekristallisiertes Siliziumkarbid hat eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber einer Vielzahl von Medien, kann die Erosion einer Vielzahl von korrosiven Medien verhindern, kann seine mechanischen Eigenschaften für eine lange Zeit beibehalten, hat eine starke Haftung, so dass es eine längere Lebensdauer hat. Darüber hinaus verfügt es über eine gute thermische Stabilität, kann sich an einen bestimmten Bereich von Temperaturänderungen anpassen und seine Anwendungswirkung verbessern.

● Sintern schrumpft nicht. Da der Sinterprozess nicht schrumpft, verursachen keine Eigenspannungen Verformungen oder Risse im Produkt, und es können Teile mit komplexen Formen und hoher Präzision hergestellt werden.

重结晶碳化硅物理特性 Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliciumcarbid
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
使用温度 / Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC含量 / SiC-Gehalt	> 99,96%
自由Si含量 / Kostenloser Si-Inhalt	< 0,1%
体积密度 / Schüttdichte	2,60-2,70 g/cm³
气孔率 / Offensichtliche Porosität	< 16%
抗压强度 / Druckfestigkeit	> 600 MPa
常温抗弯强度 / Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
高温抗弯强度 Heißbiegefestigkeit	90-100 MPa (1400°C)
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung @1500°C	4.70 10^-6/°C
导热系数 / Wärmeleitfähigkeit @1200°C	23 W/m-K
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	240 GPa
抗热震性 / Temperaturwechselbeständigkeit	Äußerst gut

VET Energy ist ein echter Hersteller von kundenspezifischen Graphit- und Siliziumkarbidprodukten mit CVD-Beschichtung und kann verschiedene kundenspezifische Teile für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie liefern. Unser technisches Team kommt von führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionelle Materiallösungen anbieten.

Wir entwickeln kontinuierlich fortschrittliche Verfahren, um noch fortschrittlichere Materialien anbieten zu können, und haben eine exklusive, patentierte Technologie entwickelt, mit der die Bindung zwischen der Beschichtung und dem Substrat fester und weniger anfällig für Ablösungen ist.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlegende physikalische Eigenschaften von CVD-SiC Beschichtung
性质 / Eigentum	典型数值 / Typischer Wert
晶体结构 / Kristallstruktur	FCC β-Phase 多晶，主要为（111）取向
密度 / Dichte	3,21 g/cm³
硬度 / Härte	2500 维氏硬度（500g Last）
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Chemische Reinheit	99.99995%
热容 / Wärmekapazität	640 J-kg^-1-K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700℃
抗弯强度 / Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
杨氏模量 / Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
导热系数 / Wärmeleitfähigkeit	300W-m^-1-K^-1
热膨胀系数 / Wärmeausdehnung(CTE)	4.5×10^-6K^-1