ET Energy TaC Coated Graphite Upper Halfmoon Hersteller ist ein leistungsstarkes Produkt, das eine gleichbleibende und zuverlässige Leistung über einen längeren Zeitraum bietet. Es hat eine super gute Wärmebeständigkeit und thermische Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit, Erosionsbeständigkeit, so dass es die perfekte Lösung für Waferbearbeitung Anwendungen.
TaC beschichtet graphitoberhalbmondteile sind teile, die in hochtemperatur- und sonderverfahren eingesetzt werden, mit einer struktur aus graphitsubstrat und TaC-Beschichtung. Sie haben eine hohe Temperaturstabilität, ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit, können Stress und Temperatur unter extremen Bedingungen standhalten und die Stabilität und Effizienz des Prozesses gewährleisten.
TaC-Beschichtung ist eine Art Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung, hergestellt durch physikalische Aufdampftechnik, hat es folgende Eigenschaften:
ANHANG Hohe Härte: TaC-Beschichtungshärte ist hoch, kann in der Regel 2500-3000HV erreichen, ist eine ausgezeichnete harte Beschichtung.
2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, was den Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile beim Gebrauch effektiv reduzieren kann.
3. Good high temperature resistance: TaC coating can also maintain its excellent performance under high temperature environment.
4. Good chemical stability: TaC coating has good chemical stability and can resist many chemical reactions, such as acids and bases.
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碳化钽涂层物理特性物理特性 Physical properties of TaC Beschichtung |
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密度 / Density |
14.3 (g/cm³) |
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比辐射率 / Specific emissivity |
0.3 |
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热膨胀系数 / Thermal expansion coefficient |
6.3 10-6/K |
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努氏硬度 / Hardness (HK) |
2000 HK |
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电阻 / Resistance |
1×10-5 Ohm*cm |
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热稳定性 / Thermal stability |
<2500℃ |
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石墨尺寸变化 / Graphite size changes |
-10~-20um |
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涂层厚度 / Coating thickness |
≥20um typical value (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is a high-tech enterprise focusing on the production and sales of high-end advanced materials, the materials and technology covering graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment and so on. The products are widely used in photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy,etc..
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