2025-03-21

Avancement des capteurs de graphite recouverts de SiC pour les applications de semiconducteurs

Les suscepteurs de graphite revêtus de SiC offrent une résistance à la corrosion, une durabilité et une efficacité supérieures dans la fabrication de semi-conducteurs, même dans des environnements NH3 et Cl2.

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Avec des capacités de recherche et de développement allant des matériaux clés aux produits d'application finale, les technologies de base et les technologies clés des droits de propriété intellectuelle indépendants ont permis de réaliser un certain nombre d'innovations scientifiques et technologiques.

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Jour : 21 mars 2025

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