Short Description:
FEP Energy est un fabricant, un fournisseur et un exportateur professionnel pour le capteur de baril épigraphite épitaxiale. Nous avons une solide équipe de R-D et ses propres technologies brevetées pour fournir aux clients des matériaux de haute qualité et avancés, nous vous invitons à visiter notre usine pour plus de discussion.
Épiaxial Epi Graphite Suscepteur de barils
Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor est un dispositif de support et de chauffage spécialement conçu pour maintenir et chauffer les substrats semi-conducteurs pendant les processus de fabrication tels que les processus de dépôt ou d'épitaxie.
Sa structure comprend typiquement cylindrique ou légèrement en forme de barillet, la surface dispose de multiples poches ou plates-formes pour placer les wafers, peut être un design solide ou creux, selon la méthode de chauffage.
Les principales fonctions du suscepteur de baril épitaxial:
-Support de substrat: contient en toute sécurité plusieurs plaquettes semi-conducteurs;
-Source de chaleur: fournit des températures élevées nécessaires à la croissance par chauffage;
-L'uniformité de température: assure un chauffage uniforme des substrats;
-Rotation: tourne généralement pendant la croissance pour améliorer l'uniformité de la température et de la distribution des gaz.
Principe de fonctionnement du suscepteur à canon en épigraphite:
– Dans le réacteur épitaxial, le suscepteur du baril est chauffé à la température requise (habituellement 1000°C-1200°C pour l'épitaxie du silicium);
-Le suscepteur du baril tourne pour assurer une distribution uniforme de la température et du débit de gaz;
-Les gaz de réaction se décomposent à haute température, formant des couches épitaxiales sur la surface du substrat.
Demandes :
- principalement utilisé pour la croissance épitaxiale du silicium
-S'applique également à l'épitaxie d'autres matériaux semi-conducteurs tels que GaAs, InP, etc.
FEP L'énergie utilise du graphite de haute pureté avec un revêtement CVD-SiC pour améliorer la stabilité chimique :
Les avantages de l'Epitaxial Epi Graphite Virtuel Suscepteur :
- Stabilité à haute température;
- Bonne uniformité thermique;
- Peut traiter plusieurs substrats simultanément, améliorant l'efficacité de la production;
- Inerte chimiquement, en maintenant un environnement de croissance à haute pureté.
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is a high-tech enterprise focusing on the production and sales of high-end advanced materials, the materials and technology including graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment like SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, etc., these products are widely used in photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy,etc..
Our technical team comes from top domestic research institutions, and have developed multiple patented technologies to ensure product performance and quality, can also provide customers with professional material solutions.
Nous vous invitons chaleureusement à visiter notre laboratoire et notre usine pour des discussions techniques et des coopérations!
Avec des capacités de recherche et de développement allant des matériaux clés aux produits d'application finale, les technologies de base et les technologies clés des droits de propriété intellectuelle indépendants ont permis de réaliser un certain nombre d'innovations scientifiques et technologiques.
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