Cassette de plaquettes en carbure de silicium à longue durée de vie avec revêtement SiC

Short Description:

FEP Cassette en carbure de silicium énergétique avec revêtement SiC est un produit de haute performance conçu pour fournir des performances cohérentes et fiables sur une longue période. Il a une très bonne résistance à la chaleur et l'uniformité thermique, haute pureté, résistance à l'érosion, ce qui en fait la solution parfaite pour les applications de traitement de wafer.

Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau de haute performance dont la dureté est secondaire au diamant, qui se forme à une température supérieure à 2000°C. Il conserve de nombreuses excellentes propriétés de SiC, telles que la haute résistance à la température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance aux chocs thermiques, etc.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recrystallisé a plus de résistance et de rigidité que la fibre de carbone, une résistance à l'impact élevée, peut jouer une bonne performance dans des environnements de température extrême, peut jouer un meilleur contrepoids dans une variété de situations. En outre, il a également une bonne flexibilité et n'est pas facilement endommagé par l'étirement et la flexion, ce qui améliore grandement ses performances.

● Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recrystallisé possède une résistance élevée à la corrosion de divers milieux, peut empêcher l'érosion de divers milieux corrosifs, peut maintenir ses propriétés mécaniques pendant longtemps, a une forte adhésion, de sorte qu'il a une durée de vie plus longue. En outre, il a également une bonne stabilité thermique, peut s'adapter à une certaine gamme de changements de température, améliorer son effet d'application.

∙ Le frittage ne rétrécit pas. Comme le processus de frittage ne se rétrécit pas, aucune contrainte résiduelle ne causera de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.

C'est pas vrai Propriétés physiques du carbure de silicium recrystallisé
性质 / Property	典型数值 / Typical Value
Température de fonctionnement (°C)	1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement de réduction)
Contenu de SiC	> 99.96%
(En milliers de dollars des États-Unis) Contenu	< 0,1%
Densité en vrac	2.60-2.70 g/cm³
Porosité apparente	< 16%
Résistance à la compression	> 600 MPa
Résistance à la flexion à froid	80-90 MPa (20°C)
C'est pas vrai. Résistance à la flexion à chaud	90-100 MPa (1400°C)
Dilatation thermique à 1500°C	4.70 10^-6/°C
Conductivité thermique à 1200°C	23 W/m•K
Module élastique	240 GPa
Résistance aux chocs thermiques	Très bon

FEP L'énergie est le véritable fabricant de produits de carbure de graphite et de silicium personnalisés avec revêtement CVD, peut fournir différentes pièces personnalisées pour l'industrie semi-conducteur et photovoltaïque. Notre équipe technique vient des plus hautes institutions de recherche nationales, peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

We continuously develop advanced processes to provide more advanced materials, and have worked out an exclusive patented technology, which can make the bonding between the coating and the substrate tighter and less prone to detachment.

DCV SiC薄膜基本物理性能 Basic physical properties of CVD SiC coating
性质 / Property	典型数值 / Typical Value
晶体结构 / Crystal Structure	FCC β phase 多晶，主要为（111）取向
密度 / Density	3.21 g/cm³
硬度 / Hardness	2500 维氏硬度（500g load）
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99.99995%
热容 / Heat Capacity	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperature	2700℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-point
杨氏模量 / Young’ s Modulus	430 Gpa 4pt bend, 1300℃
导热系数 / Thermal Conductivity	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion(CTE)	4.5×10^-6K^-1