VET Energy TaC Coated Graphite Upper Halfmoon Manufacturer is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.
Enduit de tac les parties supérieures de la demi-lune de graphite sont utilisées dans les applications à haute température et les procédés spéciaux, avec une structure de substrat de graphite et Revêtement TaC. Ils ont une stabilité à haute température, une excellente conductivité thermique et une résistance à la corrosion, peuvent résister aux contraintes et à la température dans des conditions extrêmes et assurer la stabilité et l'efficacité du processus.
Le revêtement TaC est une sorte de revêtement de carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt de vapeur physique, il a les caractéristiques suivantes:
1. Grande dureté: La dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, est un excellent revêtement dur.
2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques en cours d'utilisation.
3. Good high temperature resistance: TaC coating can also maintain its excellent performance under high temperature environment.
4. Good chemical stability: TaC coating has good chemical stability and can resist many chemical reactions, such as acids and bases.
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碳化钽涂层物理特性物理特性 Physical properties of TaC coating |
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密度 / Density |
14.3 (g/cm³) |
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比辐射率 / Specific emissivity |
0.3 |
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热膨胀系数 / Thermal expansion coefficient |
6.3 10-6/K |
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努氏硬度 / Hardness (HK) |
2000 HK |
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电阻 / Resistance |
1×10-5 Ohm*cm |
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热稳定性 / Thermal stability |
<2500℃ |
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石墨尺寸变化 / Graphite size changes |
-10~-20um |
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涂层厚度 / Coating thickness |
≥20um typical value (35um±10um) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd is a high-tech enterprise focusing on the production and sales of high-end advanced materials, the materials and technology covering graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment and so on. The products are widely used in photovoltaic, semiconductor, new energy, metallurgy,etc..
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Avec des capacités de recherche et de développement allant des matériaux clés aux produits d'application finale, les technologies de base et les technologies clés des droits de propriété intellectuelle indépendants ont permis de réaliser un certain nombre d'innovations scientifiques et technologiques.
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