縦型ウェハーボートとは何か?

垂直ウェーハボートは、高温プロセス中にウェーハを確実に保持し、均一な熱分布、コンタミネーションコントロール、効率的なハンドリングを保証します。

完璧なCVD SiCリングの選び方

最適な性能と耐久性を実現するために、材料特性、アプリケーションの要求、費用対効果を評価し、適切なCVD SiCリングを選択する方法をご紹介します。

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