Vet-中国は最先端のCVDのコーティングの技術を使用し、極度な労働条件の下でよく実行できるタンタルの炭化物の上塗を施してあるウエファーのスセプターを作り出します。 タンタルカーバイド材料は耐摩耗性と耐食性を兼ね備えており、半導体製造業界に理想的な選択肢となっています.
高温および腐食性の環境では、タンタル炭化物の上塗を施してあるウエファーのスセプターは優秀な化学不活性および熱安定性を展示し、効果的にさまざまな化学媒体の腐食に抵抗し、粗い条件の下で長期使用を保障します。 この機能により、半導体加工、化学用途、その他の分野において、当社のガイドリングは大きな用途にご利用いただけます.
Vet-ChinaのタンタルカーバイドウエファーSusceptorを選択すると、生産効率を向上させるだけでなく、機器の耐用年数を延ばすことができます。 私達のプロダクトは各々が顧客の異なった必要性を満たすために最も高い企業の標準を満たしていることを確認するために厳しく品質管理されます.
継続的な技術革新を通じて、Vet-Chinaは、信頼性の高いソリューションを提供し、業界の進歩を促進することにコミットしています。 私達のタンタルの炭化物のコーティング ウエハー Susceptorは高温および腐食性の環境のためのあなたの信頼できる選択、あなたの適用が新しい高さに達するのを助けます.
TaCのコーティングは一種の物理的な蒸気の沈殿物の技術によって準備されるタンタルの炭化物(TaC)のコーティングです、それに次の特徴があります:
1。 高い硬度: TaCのコーティングの硬度は高く、通常2500-3000HVに達することができます、優秀な堅いコーティングです.
2。 耐久性: TaCのコーティングは効果的に使用の間に機械部品の摩耗そして損傷を減らすことができる非常に耐摩耗性です.
3。 よい高温抵抗: TaCのコーティングはまた高温環境の下で優秀な性能を維持できます.
4。 よい化学安定性: TaCのコーティングによい化学安定性があり、酸および基盤のような多くの化学反応に抵抗できます.
化学品 物理的性質の タック コーティング |
|
密度/密度 |
14.3(g/cm3) |
比伴奏率 / 比放射率 |
0.3 |
熱膨張係数 |
6.3 10-6/Kについて |
氏の硬度/硬度(HK) |
2000年(平成12年) ログイン |
耐圧/抵抗 |
1×10-5 オム*cm |
热稳定性/熱安定性 |
<2500℃ |
石墨寸法変化 / 石墨寸法変化 |
-10~-20umの |
涂层厚度/コーティング厚さ |
≥20um 典型的な価値(35um±10um) |