VET Energy TaC Coated Graphite Upper Halfmoon Manufacturer is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.
タックコーティング graphite upper half moon parts are parts used in high temperature and special process applications, with a structure of graphite substrate and TaCコーティング. They have high temperature stability, excellent thermal conductivity and corrosion resistance, can withstand stress and temperature under extreme conditions, and ensure the stability and efficiency of the process.
TaCのコーティングは一種の物理的な蒸気の沈殿物の技術によって準備されるタンタルの炭化物(TaC)のコーティングです、それに次の特徴があります:
1。 高い硬度: TaCのコーティングの硬度は高く、通常2500-3000HVに達することができます、優秀な堅いコーティングです.
2。 耐久性: TaCのコーティングは効果的に使用の間に機械部品の摩耗そして損傷を減らすことができる非常に耐摩耗性です.
3。 よい高温抵抗: TaCのコーティングはまた高温環境の下で優秀な性能を維持できます.
4。 よい化学安定性: TaCのコーティングによい化学安定性があり、酸および基盤のような多くの化学反応に抵抗できます.
化学品 物理的性質の タック コーティング |
|
密度 / 密度 |
14.3(g/cm3) |
放射線治療の割合 / 特定の免除 |
0.3 |
系系数 / 熱膨張係数 |
6.3 10-6/Kについて |
氏の硬度 / 硬度(HK) |
2000年(平成12年) ログイン |
临界温度(°C) / 抵抗 |
1×10-5 オム*cm |
热稳定性性 / 熱安定性 |
<2500℃ |
石墨寸法 / グラファイトサイズ変更 |
-10~-20umの |
度 /厚さのコーティング |
≥20um 典型的な価値(35um±10um) |