VET Energy TaC Coated Graphite Upper Halfmoon Manufacturer is a high-performance product designed to provide consistent and reliable performance over an extended period. It has super good heat resistance and thermal uniformity, high purity, erosion resistance, making it the perfect solution for wafer processing applications.
High-quality tantalum carbide (TaC) coating is a special coating made of high-purity tantalum carbide material. High-quality tantalum carbide coating uses high-purity tantalum carbide as raw material to ensure the purity and quality of the coating. High-purity tantalum carbide has excellent chemical and thermal stability and can maintain its performance under extreme conditions.
TaCコーティングは一種のです タンタルカーバイド(TaC)コーティング 物理的な蒸気蒸着技術によって準備される、それに次の特徴があります:
1。 高い硬度: TaCコーティング 硬度は高く、通常2500-3000HVに達することができます、優秀な堅いコーティングです.
2。 耐久性: TaCコーティング 使用中の機械部品の摩耗および損傷を効果的に減らすことができる非常に耐摩耗性です.
3。 よい高温抵抗: TaCのコーティングはまた高温環境の下で優秀な性能を維持できます.
4。 よい化学安定性: TaCのコーティングによい化学安定性があり、酸および基盤のような多くの化学反応に抵抗できます.
化学品 物理的性質の タック コーティング |
|
密度 / 密度 |
14.3(g/cm3) |
放射線治療の割合 / 特定の免除 |
0.3 |
系系数 / 熱膨張係数 |
6.3 10-6/Kについて |
氏の硬度 / 硬度(HK) |
2000年(平成12年) ログイン |
临界温度(°C) / 抵抗 |
1×10-5 オム*cm |
热稳定性性 / 熱安定性 |
<2500℃ |
石墨寸法 / グラファイトサイズ変更 |
-10~-20umの |
度 /厚さのコーティング |
≥20um 典型的な価値(35um±10um) |