短い記述:
縦のコラムのウエファーのボート及び台紙からの台紙は半導体の製造のためのウエファーの処理の優秀な安定性そして精密を提供します。 獣医陶磁器の高度の設計によって、このシステムは最適直線および安全な保持を保障します、操作の効率を高め、ウエファーの損傷を減らす.
獣医中国は高度の半導体処理のための広範囲の解決の革新的な縦のコラムのウエファーのボート及び台座を、示します。 細心の精度で設計されたこのウェーハ処理システムは、比類のない安定性とアライメントを提供します.
縦のコラムのウエファーのボート及び台座は最もデマンドが高い半導体の製作プロセスのために適したようにする化学薬品の腐食への熱安定性そして抵抗を保証する優れた材料と組み立てられます。 そのユニークな縦列設計は、ウェーハを安全にサポートし、輸送および処理中に誤差や潜在的な損傷の危険性を減らします.
獣医中国の縦のコラムのウエファーのボート及び台紙の統合によって、半導体の製造業者は改良されたスループット、最小化されたダウンタイムおよび高められたプロダクト収穫を期待できます。 さまざまなウェーハサイズや構成に対応し、さまざまな生産ニーズに柔軟でスケーラビリティを提供します.
獣医中国の卓越性へのコミットメントは、各縦の列のウェーハボートと台座が品質と性能の最高基準を満たしていることを確認します。 この最先端ソリューションを選択することで、半導体製造における効率性と信頼性を最大限に高める、ウェーハ処理の将来性のあるアプローチに投資します.
再結晶化炭化ケイ素の特性
Recrystallizedの炭化ケイ素(R-SiC)は2000°C上の高温で形作られるダイヤモンドにだけ硬度の秒が付いている高性能材料です。 それは高温強さ、強い耐食性、優秀な酸化の抵抗、よい熱衝撃の抵抗のようなSiCの多くの優秀な特性を、等保持します.
●の優秀な機械特性。 Recrystallizedの炭化ケイ素はカーボン繊維、高い耐衝撃性より高い強さおよび剛さを、極度な温度の環境でよい性能を、再生できますいろいろな状態のよりよい均衡の性能をすることができます持っています。 また、伸張・曲げ加工により、柔軟性が良好で、性能が大幅に向上します.
●の高い耐食性。 Recrystallizedの炭化ケイ素はいろいろな媒体に、さまざまな腐食性媒体の腐食を防ぐことができます、長い時間のための機械特性を維持できます、強い付着を、それ持っていますより長い耐用年数をあります。 加えて、それにまたよい熱安定性が、ある特定の範囲の温度変化に合わせ、適用効果を改善できますあります.
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重力鍛錬鋼 再結晶化炭化ケイ素の物理的性質 |
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特性/特性 |
典型的な値 |
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使用温度/働く温度(°C) |
1600°C (酸素と)、1700°C (減少の環境) |
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SiC量 / SiC含有量 |
> 99.96% |
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単価無料/無料 Si コンテンツ |
< 0.1% |
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体積密度/バルク密度 |
2.60-2.70 g/cm3 |
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公益社団法人 公益事業 |
< 16% |
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抗度度/圧縮強度 |
> 600MPa |
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常反温度度/冷たい曲げ強さ |
80-90 MPa (20°C) |
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耐震度 ホット曲げ強度 |
90-100 MPa (1400°C) |
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耐衝撃性系数/熱膨張@1500°C |
4.70 10-6/°Cの |
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导热系数/熱伝導率@1200°C |
23 W/m・K |
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氏の模倣の量/伸縮性がある係数 |
240 GPaの |
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反酸化性/熱衝撃の抵抗 |
非常に良い |
VETシリーズ エネルギーはCVDのコーティングが付いているカスタマイズされたグラファイトそして炭化ケイ素プロダクトの実質の製造業者、半導体および太陽光発電の企業のためのさまざまなカスタマイズされた部品を供給できますです。 私達の技術的なチームは一流の国内研究所から、あなたのためのより多くの専門材料の解決を提供してもいいです来ます.
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CVD ログインツイート基礎研究 CVD SiCの基本的な物理的性質 コーティング |
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特性/特性 |
典型的な値 |
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振動子/結晶構造 |
FCC β 相 晶 多, 主 人 (111) 取 方 |
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密度/密度 |
3.21 g/cm3 |
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硬度/硬度 |
2500 氏の硬度(500gの負荷) |
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大 大 小 |
2~10μm |
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粒度/化学純度 |
99.99995% |
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結束/熱容量 |
640 J・kg-1・K-1 |
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温度/昇華温度 |
2700°C |
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引張強さ/引張強さ |
415 MPa RT 4点 |
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氏の模倣の量/ヤングのs Modulus |
430 Gpa 4ptのくねり、1300°C |
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导热系数/熱伝導率 |
300W・m-1・K-1 |
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熱膨張(CTE) |
4.5×10-6ログイン-1 |
工場見学をお待ちしております!
主要材料から最終応用製品までの研究開発能力を持ち、独立した知的財産権の核心および主要技術は、数多くの科学技術革新を達成している。
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