2025-03-21

반도체용 SiC-Coated Graphite Susceptors의 발전

SiC 입히는 흑연 susceptors는 가혹한 NH3와 Cl2 환경에서 조차 반도체 제조에 있는 우량한 내식성, 내구성 및 효율성을 제안합니다.

주요 재료의 R & D 기능으로 응용 제품, 독립적 인 지적 재산권의 핵심 및 핵심 기술은 과학 및 기술 혁신의 수를 달성했습니다.