짧은 묘사:
VET의 Energy SiC 코팅 흑연 운반대는 장시간 기간에 일관된 믿을 수 있는 성과를 제공하기 위하여 디자인된 고성능 제품입니다. 그것은 최고 좋은 열저항 및 열 균등성, 높은 순수성, erosion 저항, 웨이퍼 가공 신청을 위한 완벽한 해결책을 만드는 있습니다.
원래 장소:
주요 특징
크리스탈 구조:
FCCβ 단계
조밀도:
3.21의 g/cm
경도:
명세 비커스
곡물 크기:
2~10μm의
화학 순수성:
99.99995%
열용량:
640J·kg-1·K-1
공급 능력:
파장: 2700nm
Felexural 힘:
415 Mpa (RT 4 점)
젊은 s 계수:
430 Gpa (4pt 굽힘, 1300°C)
열 확장 (C.T.E):
4.5 10-6K-1를
열 전도도:
300 (W/MK)
SiC 코팅 흑연 캐리어는 다양한 반도체 제조 공정에서 사용되는 주요 부품입니다. 우리는 극단적으로 높은 순수성, 좋은 코팅 균등성 및 우수한 서비스 기간을 가진 실리콘 탄화물 운반대를 만드는 우리의 특허가 주어진 기술을, 뿐 아니라 높은 화학 저항 및 열 안정성 재산 이용합니다.
우리의 제품의 특징:
1. 명세 1700°C까지 고열 산화 저항.
2. 명세 높은 순수성 및 열 균등성
3. 명세 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 명세 높은 경도, 소형 표면, 정밀한 입자.
5. 명세 더 긴 서비스 기간 및 더 튼튼한
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· CVD (주)·薄膜基本物理性能 CVD SiC의 기본 물리적 특성 제품정보 |
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/ 재산 |
/ 일반 값 |
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COIN体结构 / 크리스탈 구조 |
FCC β 단계 多PSK,,(111) 덧셈 |
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☸ / 밀도 |
3.21의 g/cm3 |
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/ 경도 |
2500 2500 (500g 짐) |
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大大小 / 곡물 SiZe |
2~10μm의 |
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/화학 순수성 |
99.99995% |
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/ 열용량 |
640 J·kg-1·K-1 |
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/ 승화 온도 |
파장: 2700nm |
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/ 굽힘 강도 |
415 MPa RT 4 점 |
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s / 영의 조수 |
430 Gpa 4pt 굴곡, 1300°C |
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/ 열전도 |
300W·m-1·K-1 |
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/ 열팽창(CTE) |
크기: 4.5×10-6·-1 |
VET의 에너지는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, pyrolytic 탄소 코팅, 등과 같은 다른 코팅을 가진 주문을 받아서 만들어진 흑연 그리고 실리콘 탄화물 제품의 진짜 제조자, 반도체와 광전지 기업을 위한 각종 주문을 받아서 만들어진 부속을 공급할 수 있습니다.
우리의 기술 팀은 최고 국내 연구 기관에서 옵니다, 당신을 위한 직업적인 물자 해결책을 제공할 수 있습니다.
우리는 지속적으로 고급 재료를 제공하기 위해 고급 프로세스를 개발하고, 코팅과 기판 꽉 끼고 더 적은 prone과 detachment에 결합 할 수있는 독점적 인 특허 기술에서 일했습니다.
우리의 공장을 방문하는 온난하게 환영, 더 토론이 있!
주요 재료의 R & D 기능으로 응용 제품, 독립적 인 지적 재산권의 핵심 및 핵심 기술은 과학 및 기술 혁신의 수를 달성했습니다.
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