SiC Coating Carrier For RTP/RTA is a key component used in the semiconductor manufacturing processes called Rapid Thermal Processing & Annealing, we use our patented technology to make the silicon carbide carrier with extremely high purity, good coating uniformity and an excellent service life, as well as high chemical resistance and thermal stability properties.
우리의 제품의 특징:
1. 명세 1700°C까지 고열 산화 저항.
2. 명세 높은 순수성 및 열 균등성
3. 명세 우수한 내식성: 산, 알칼리, 소금 및 유기 시약.
4. 명세 높은 경도, 소형 표면, 정밀한 입자.
5. 명세 더 긴 서비스 기간 및 더 튼튼한
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· CVD (주)·薄膜基本物理性能 CVD SiC의 기본 물리적 특성 제품정보 |
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/ 재산 |
/ 일반 값 |
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COIN体结构 / 크리스탈 구조 |
FCC β 단계 多PSK,,(111) 덧셈 |
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☸ / 밀도 |
3.21의 g/cm3 |
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/ 경도 |
2500 2500 (500g 짐) |
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大大小 / 곡물 SiZe |
2~10μm의 |
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/화학 순수성 |
99.99995% |
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/ 열용량 |
640 J·kg-1·K-1 |
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/ 승화 온도 |
파장: 2700nm |
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/ 굽힘 강도 |
415 MPa RT 4 점 |
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s / 영의 조수 |
430 Gpa 4pt 굴곡, 1300°C |
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/ 열전도 |
300W·m-1·K-1 |
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/ 열팽창(CTE) |
크기: 4.5×10-6·-1 |
VET의 에너지는 SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, pyrolytic 탄소 코팅, 등과 같은 다른 코팅을 가진 주문을 받아서 만들어진 흑연 그리고 실리콘 탄화물 제품의 진짜 제조자, 반도체와 광전지 기업을 위한 각종 주문을 받아서 만들어진 부속을 공급할 수 있습니다.
우리의 기술 팀은 최고 국내 연구 기관에서 옵니다, 당신을 위한 직업적인 물자 해결책을 제공할 수 있습니다.
우리는 지속적으로 고급 재료를 제공하기 위해 고급 프로세스를 개발하고, 코팅과 기판 꽉 끼고 더 적은 prone과 detachment에 결합 할 수있는 독점적 인 특허 기술에서 일했습니다.
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