Longa vida de serviço Silicone Carbide Wafer Cassette com revestimento SiC

Descrição curta:

VET Energy Silicon Carbide Wafer Cassette Com revestimento SiC é um produto de alto desempenho projetado para fornecer desempenho consistente e confiável durante um período prolongado. Tem super boa resistência ao calor e uniformidade térmica, alta pureza, resistência à erosão, tornando-a a solução perfeita para aplicações de processamento de wafers.

Propriedades do carboneto de silício recristalizado

Carboneto de silício recristalizado (R-SiC) é um material de alto desempenho com dureza em segundo lugar apenas para diamante, que é formado a uma temperatura alta acima de 2000 °C. Ele mantém muitas propriedades excelentes de SiC, tais como alta resistência à temperatura, forte resistência à corrosão, excelente resistência à oxidação, boa resistência ao choque térmico e assim por diante.

● Excelentes propriedades mecânicas. Carboneto de silício recristalizado tem maior resistência e rigidez do que a fibra de carbono, alta resistência ao impacto, pode desempenhar um bom desempenho em ambientes de temperatura extrema, pode desempenhar um melhor desempenho contrabalanceamento em uma variedade de situações. Além disso, ele também tem boa flexibilidade e não é facilmente danificado por alongamento e flexão, o que melhora muito seu desempenho.

● Alta resistência à corrosão. Carboneto de silício recristalizado tem alta resistência à corrosão a uma variedade de meios, pode evitar a erosão de uma variedade de meios corrosivos, pode manter suas propriedades mecânicas por um longo tempo, tem uma forte adesão, de modo que ele tem uma vida útil mais longa. Além disso, ele também tem boa estabilidade térmica, pode se adaptar a uma certa gama de mudanças de temperatura, melhorar seu efeito de aplicação.

● O sinterismo não encolhe. Como o processo de sinterização não encolhe, nenhuma tensão residual causará deformação ou fissuração do produto, e peças com formas complexas e alta precisão podem ser preparadas.

Não, não, não

Propriedades físicas do carbeto de silício recristalizado

Propriedades

Valor típico

Temperatura de trabalho (°C)

1600°C (com oxigénio), 1700°C (ambiente redutor)

SiC/ SiC content

> 99.96%

Livre Si content

< 0,1%

Densidade de volume

2,60-2,70 g/cm3

Porosidade aparente

< 16%

Resistência à compressão

> 600 MPa

Resistência à flexão fria

80-90 MPa (20°C)

O que é isto? Resistência à flexão a quente

90-100 MPa (1400°C)

Expansão térmica @ 1500°C

4.70 10-6/°C

Condutividade térmica @1200°C

23 W/m•K

Módulo elástico

240 GPa

Resistência ao choque térmico

Extremamente bom

VET Energia é o verdadeiro fabricante de grafite personalizado e produtos de carboneto de silício com revestimento CVD, pode fornecer várias peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. Nossa equipe técnica vem de instituições de pesquisa nacionais de topo, pode fornecer mais soluções materiais profissionais para você.

Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados, e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais apertado e menos propenso ao descolamento.

DCV SiCO que é isto

Propriedades físicas básicas da DCV SiC revestimento

Propriedades

Valor típico

Estrutura de cristal

Fase FCC β

Densidade

3,21 g/cm3

& Dureza

2500 (carga de 500g)

Size de grão

2~10μm

Pureza Química

99.99995%

Capacidade de calor

640 J·kg-1·K-1

Temperatura de sublimação

2700°C

Força Flexural

415 MPa RT 4 pontos

Modulo de Young

430 Gpa 4pt curva, 1300°C

Condutividade térmica

300W·m-1·K-1

Expansão térmica (CTE)

4,5×10-6K-1

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